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第一卷第285章暗影潜伏(第1/2页)
咔哒。
配电箱的金属盖板被悄无声息地卸下，露出了后方直通无尘车间的通风管道百叶窗。
那双戴着脏污劳保手套的手从口袋里摸出一个极小的压缩气罐，针头精准地扎进百叶窗的缝隙中。
嗤——！
一缕肉眼不可见的微量凝固气体，顺着管道内壁，无声无息地飘向了光刻机核心车间。
车间内，刺目的白光照亮了整个操作台。
高纯度的金黄色极紫外光刻胶原液，顺着高压微管，稳稳悬停在八英寸晶圆的正中心。
“滴胶。”
程美丽清冷的声音在车间内响起。
一滴粘稠的原液精准滴落。
“启动旋涂。”
嗡——！
旋涂机的真空吸盘死死锁住晶圆，主轴开始高速旋转，发出平稳的低鸣。
金黄色的胶体在离心力的作用下，如同一层完美的薄膜，迅速向晶圆四周铺展开来。
李副部长和几名核心专家屏住呼吸，死死盯着上方悬挂的激光平整度检测仪。
红色的扫描光束在晶圆表面来回穿梭。
滴！
大屏上的数据疯狂跳动，最终死死卡在一个数字上。
0.05微米。
“不行！”
技术组长急得满头大汗，一拳砸在金属护栏上。
“误差卡在0.05微米下不去了！这个平整度根本达不到EUV光源的点火标准！”
程美丽站在操作台前，目光锐利地锁定在高速旋转的主轴底座上。
“机器没问题，是配重。”
她双手快速在键盘上敲击，调出主轴的震动波形图。
“新配方的胶体粘度太高，主轴原有的震动频率产生了微共振。”
“停机。”
嗡鸣声骤停。
程美丽大步走上前，纤细的手指直接点在主轴左侧的金属卡扣上。
“拿配重铅块来。”
“在这里，加0.5克，微调动平衡。”
两名高级技工满头大汗地冲上来，用医用镊子夹着极小的铅块，精准卡入指定位置。
“重新点火旋转！”
主轴再次咆哮着提速。
就在这最关键的瞬间。
头顶的百叶窗内，一股极度微弱的异样气流悄然卷入车间。
滴滴滴滴！
激光检测仪猛地爆发出凄厉的红色警报声！
“怎么回事！”
李副部长惊恐地抬起头。
大屏上，原本平滑的胶体三维扫描图上，肉眼可见地鼓起了一层密密麻麻的微小突起。
“有颗粒！”
检测员尖叫出声，声音里透着绝望。
“胶体表面发生未知凝固反应！刚铺好的涂层要报废了！”
整个车间的空气瞬间凝固，所有人的脸色煞白如纸。
陆川站在操作台侧后方，鼻翼微动，深邃的眼底猛地爆开一团骇人的杀机。
化学凝固剂的微弱气味。
他右脚重重蹬地，修长的身躯化作一道残影，直接扑向墙边的环境控制柜。
砰！
他一拳砸碎防护玻璃，狠狠拉下最顶端的红色拉杆。
“锁死通风口！”
他头也不回地怒吼，声音如炸雷般劈开车间的恐慌。
“启动军用级内循环净化系统！”
轰——！
四台重型净化风扇同时爆发出狂暴的轰鸣，巨大的吸力瞬间将车间内的残余空气强行抽离。
但涂层表面的凝固颗粒已经形成。
“毁了……全毁了……”技术组长双腿发软，死死扒着操作台边缘。
“闭嘴！”
程美丽厉喝一声，半步未退。
意识深处，系统面板瞬间亮起刺目的金光。
【权限确认：系统微调开关已解锁。】
她双手重重拍在操作台上，十指化作残影，疯狂敲击工业键盘，直接绕过机械保护程序。
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底层控制代码被她强行撕开一条缺口。
“强行解锁主轴转速锁！”
滴——！
操作台上的红灯陷入疯狂的频闪。
【警告！转速即将突破物理极限！主轴有断裂风险！】
刺耳的机械合成音响彻车间。
陆川拔出腰间的配枪，大步跨回操作台侧前方。
他用高大的身躯死死挡在程美丽身前，枪口斜指地面，冷厉的目光警戒四周，任由警报声撕扯耳膜，连眉头都没有皱一下。
程美丽眼神如刀，左手一把攥住极限加速的金属推杆，骨节发白。
“给我转！”
她猛地将推杆一推到底！