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第440章光波没有摩擦力(第1/2页)
四月中旬，吉省长光所。
地下实验室的无尘室外，王老的团队已经连轴转了两天两夜。
玻璃窗内，一组从樱花国弄回来的日产光学物镜被拆成了几十个编号部件。
镜片、隔圈、压环、镀膜样片，全都铺在防静电垫上。
每一个动作都慢得要命。
因为这玩意儿不是普通镜头。
它关系到光刻机能不能从现有水平，往1.5微米制程上再迈一步。
林希站在玻璃窗外，看着里面的进度。
这时，江俊拿着一份资料册快步走了过来。
“林经理。”
他的声音比三年前稳了太多。
三年前，江俊站在林希面前时，背是塌的，手里攥着女儿的病历。
现在，他白大褂袖口卷到小臂，资料册夹在胳膊下，开口第一句就是工艺参数。
“光刻机要升级到1.5微米制程，光有镜头不够。”
江俊翻开工艺资料册，指着设计图上的对齐位。
“1.5微米线宽，上下层对齐的套刻精度，最多只能容忍300纳米误差。”
他手指敲了敲图纸。
“也就是说，我们的尺子，得能量出几十纳米级别的微小位移。”
江俊合上资料，语气很沉。
“三年前搞出来的1微米精度光栅尺，已经不够用了。”
林希点了点头。
他很清楚，在1984年，测量工具的精度落后，就是卡死芯片制程的物理天堑。
你连工作台挪了多少都量不准，还谈什么套刻？
芯片不是靠热血喊出来的。
每一道线，都得用精度咬出来。
“跟我来。”
江俊没多解释，转身就走。
林希跟着他推开走廊尽头一间独立实验室的门。
屋里温度比外面低，墙角的除湿机一直在响。
光学平台四周拉着黑色遮光帘，地面上连脚印都很少。
江俊走到一张光学平台前，手指搭在防静电黑布边缘，停了半秒。
那动作不像揭布。
更像是掀开自己三年心血的盖头。
他一把拉开黑布。
光学平台上，一台半米长的金属设备安安静静躺着。
结构紧凑，反光镜组排布复杂，铝合金外壳擦得发亮。侧面贴着一张手写标签。
CQ-1型双频氦氖激光干涉仪。
林希蹲下来，绕着看了一圈。
“跑通了？”
“跑通了。”
江俊回答得很稳。
但他握着黑布的手一直没松，指腹压得发白。
“林经理，三年前你给我批无上限预算，把激光干涉仪的活儿交给我，那时候我心里没有底。”
“一微米精度，难，但路是通的。”
“刻划机精度往上堆，材料往上磨，工人手艺往死里练，总能磨出来。”
他顿了顿。
“但一微米基本就是机械测量的天花板了。”
“机械结构有摩擦，有热胀冷缩，有震动。刻划刀再锋利，也是铁碰铁。”
“这三样东西消不掉，精度就上不去。”
江俊站起来，走到黑板前。
他没画复杂图纸，只写了一行字。
光波没有摩擦力。
林希看着那七个字，目光微微一顿。
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江俊转过身。
“前年，我把光栅尺项目结题报告交上去之后，就开始琢磨这条路。”
“氦氖激光器波长632.8纳米，稳定，单色性好，天生就是一把尺子。”
“两束光一干涉，条纹移动半个周期，就是316.4纳米。”
“数条纹，就能量位移。”
他说到这里，声音压低。
“道理不难。”
“难的是，这把尺子自己不能抖。”
“激光器刚点亮时，频率会漂。”
“温度变一点，腔长变一点，频率就跟着跑。”
“你拿一把自己都在哆嗦的尺子去量东西，量出来的数，谁敢信？”
江俊语速快了起来。
“我试了十一种稳频方案。”
“前十种，全废。”
“烧了六根激光管，炸了两块分光镜。”
“有一次反射镜崩了，碎片直接钉进防护板里。”
他抬手拍了拍那台设备，动作很轻。
“上个月，第十一种方案终于跑通了。”
“塞曼效应分裂双频，再加热敏电阻反馈环路，把腔长锁住。”
这一次，他没有再多解释。
他走到设备旁边，按下侧面的绿色电源键。