第421章 追光设备国产化试产节点

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三秒内完成了整片晶圆的表面扫描，电子束检测模块在精度偏差零点三纳米内定位了三个疑似缺陷点，自动分拣模块将三个疑似点的位置坐标和显微图像上传到天枢OS产线管理系统，等待人工复检。