第349章 追光四期的工艺验证计划

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    林薇回答:「从追光项目的专项预算里出。追光三期到四期,总预算是十五亿,已经花了八亿,还剩七亿。两亿的中试线投资在预算内。」
    苏黛在笔记本上记了下来。
    会议进入核心议题——追光四期工艺验证计划的具体安排。
    梁志远调出了一张详细的时间表。
    「第一阶段,核心模块验证,八周。分四个子模块并行验证——多室真空传输模块丶旋转阴极阵列模块丶在线检测模块丶自动控制模块。每个模块在独立的实验平台上验证,达标后进入第二阶段。」
    「第二阶段,整机集成验证,十二周。把四个模块集成到一台完整的追光四期样机上,在实验室环境下连续运行,验证整机的稳定性丶可靠性丶以及工艺性能。这个阶段会生产一千片测试样片,进行全面的物性分析和可靠性测试。」
    「第三阶段,量产爬坡验证,十六周。把追光四期样机搬到合城的中试线上,在实际生产环境下运行。目标是连续生产五千片,良率稳定在百分之九十五以上,平均无故障时间超过五百小时。达到这个目标后,追光四期就可以进入大规模量产。」
    林薇追问了一个关键问题:「每个阶段的通过标准是什么?」
    梁志远翻到了验证计划的附录。
    「第一阶段,每个子模块的关键指标达标——真空传输模块,基板传输速度每秒五百毫米,定位精度正负零点一毫米,破真空到恢复时间小于两分钟。旋转阴极阵列,镀膜均匀性正负百分之一以内,靶材利用率百分之七十以上。在线检测模块,膜厚测量精度正负零点一纳米,晶体结构识别准确率百分之九十九。自动控制模块,工艺参数自动调整响应时间小于零点五秒,工艺优化收敛时间小于十分钟。」
    「第二阶段,整机连续运行五百小时,无重大故障。测试样片的膜厚均匀性正负百分之一以内,界面结合力比追光三期提升百分之五十,工艺窗口温度正负三度丶气压正负百分之三丶功率正负百分之三。」
    「第三阶段,连续生产五千片,良率百分之九十五以上,平均无故障时间五百小时。单片成本比追光三期降低百分之三十。工艺文档和培训手册完整,操作团队通过考核。」
    周明问了一个问题:「追光四期的智慧财产权保护怎么做的?这么先进的技术,如果被竞争对手模仿或者窃取,损失会很大。」
    林薇让法务团队的代表回答了这个问题。那是一个三十出头的专利工程师,姓吴,戴着黑框眼镜,说话条理清晰。
    「追光四期的核心技术,我们已经布局了四十七项专利申请,其中发明专利三十九项丶实用新型八项。覆盖了多室结构丶旋转阴极阵列丶在线检测丶自动控制四个模块。另外,有十二项技术作为商业秘密保护,不申请专利,只在内部知悉。」
    「对于可能的技术泄露风险,我们采取了分级管控措施。核心模块的设计图纸和原始码,只有项目核心成员有权限访问。所有涉及追光四期的技术文档,都加了数字水印和访问日志。关键设备的采购,通过多个供应商分散采购,没有一家供应商掌握完整技术。」
    周明点了点头,没有再追问。
    会议进行到下午三点,所有议题都过了一遍。林薇做了总结。
    「追光四期的工艺验证计划,今天正式定稿。梁志远负责总体协调,张京京负责中试线建设,章宸负责天权5晶片的适配,周明负责智慧财产权保护。每两周向我汇报一次进度。」
    「三十六周后,追光四期要通过验证,中试线要建成投用。这是硬目标,不能推迟。追光四期不只是追光三期的升级版,它是未来科技在高端镀膜设备领域从『跟跑』到『领跑』的标志。追光三期证明我们能做出来,追光四期要证明我们能做得比旧秩序更好丶更便宜丶更可靠。」
    所有人点头。
    会议结束后,林薇和梁志远留了下来。两人站在窗前,看着Z实验室外的景色。
    「志远,追光四期的工艺验证,你觉得最大的风险是什么?」林薇问。
    梁志远想了想,说:「不是技术,是供应链。追光四期用了很多定制部件,比如旋转阴极的靶材丶真空传输轨道的陶瓷轴承丶在线检测的光学镜头。这些部件的供应商大多是中小型企业,产能有限,质量波动大。如果某个部件供应不上或者质量出问题,整个验证计划就会延期。」
    林薇说:「这个问题,你和苏黛商量一下。看能不能和关键供应商签长期协议,锁定产能。同时,每个关键部件找两到三家备选供应商,分散风险。」
    梁志远点头。
    林薇的终端震动了,是陈醒发来的消息。
    「追光四期的工艺验证计划定下来了?」
    林薇回复:「定下来了。三十六周,三个阶段。核心指标——均匀性正负百分之一,结合力提升百分
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