第332章 追光产线的工艺改良投入评估

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    追光厂房的四层会议室,今天坐满了人。
    长桌两侧,林薇坐在主位,左手边是张京京丶梁志远和追光产线的六个核心工程师,右手边是苏黛丶财务总监方远丶供应链总监何铭,以及从合城赶来的制造副总裁老韩。会议室的窗帘全部拉上了,白板上贴满了追光三期主腔体镀膜工艺的流程图丶参数表和良率曲线。
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    张京京站在白板前,手里拿着一支马克笔,正在画一条良率曲线。曲线从两周前的百分之八十二开始,缓慢爬升到百分之八十八,然后有一个明显的跳跃——从百分之八十八跳到了百分之九十一,之后稳定在百分之九十一附近,不再上升。
    「这是过去三周合城产线的良率数据。」张京京在百分之九十一的位置画了一个圈。「我们从百分之八十二拉到百分之九十一,用了三周。但从百分之九十一拉到百分之九十五,过去五天一点都没动。不是我们不努力,是遇到了一个工程瓶颈。」
    梁志远站起来,走到白板前,在那条曲线的旁边画了一张简化的镀膜工艺流程图。从基片清洗丶夹具装载丶腔体抽真空丶预热丶镀膜丶冷却到卸片,七个工序,每个工序下面都标注了当前的良率损失。
    「良率损失最大的工序是镀膜本身,占总损失的比例是百分之六十二。」梁志远在「镀膜」工序下面画了一条粗线。「具体来说,三个问题:膜厚均匀性丶界面结合力丶颗粒污染。」
    他转过身,面对所有人,开始拆解这三个问题。
    「膜厚均匀性。目前合城产线的镀膜设备是三年前采购的,当时的设计指标是整面均匀性正负百分之五。追光三期主腔体的要求是正负百分之三。我们一直在用工艺参数补偿设备的先天不足,但补偿有极限,到了百分之九十一就上不去了。不是工艺工程师不行,是设备本身到了天花板。」
    「界面结合力。梯度过渡层的每层之间需要完美的原子级结合,这对基片表面的清洁度要求极高。目前的清洗工艺用的是湿法化学清洗,残留的微量污染物会在镀膜过程中扩散到界面,导致结合力下降。我们已经把清洗工艺优化了四轮,但湿法清洗的天花板就在那里——有些污染物,用液体洗不掉。」
    「颗粒污染。合城产线的洁净度等级是ISO5,但追光三期主腔体的镀膜需要ISO4。差一个等级,意味着每立方米的颗粒物数量差了十倍。一个零点一微米的颗粒落在涂层界面上,就会成为一个应力集中点,在热循环中慢慢扩展成裂纹。」
    张京京等梁志远说完,补充了一句:「这三个问题的共同点是——靠工艺优化能解决一部分,但要突破百分之九十一,必须改设备丶改工艺丶改环境。也就是说,要投入。」
    会议室里安静了几秒。
    苏黛翻开面前的笔记本,上面已经密密麻麻写满了数字。她不是今天做决策的人,但她带来的数字会直接影响决策。
    「先听一下投入的规模和方向。」林薇说。她的声音不大,但会议室里每个人都听得很清楚。
    张京京翻到白板的下一页。上面已经写好了一个清单,字迹工整,显然是准备了很多天的。
    「三个改良方向,对应三个问题。第一,膜厚均匀性——更换镀膜设备的阴极和阳极设计。现有的平面阴极换成旋转阴极,靶材利用率从百分之三十提升到百分之七十,膜厚均匀性从正负百分之五提升到正负百分之二。投入:每台设备改造费用四百二十万,合城产线目前有三台镀膜设备,全部改造需要一千二百六十万。改造周期,每台两周,三台并行改造的话,两周完成。」
    「第二,界面结合力——湿法清洗升级为乾湿复合清洗。在现有的湿法清洗线后面加一道等离子体干法清洗,用高能等离子体轰击基片表面,去除湿法清洗无法清除的微量有机物。投入:等离子清洗设备采购和安装,一套六百万。合城产线需要两套,一千二百万。安装周期三周,调试周期一周,总共一个月。」
    「第三,颗粒污染——洁净度升级。从ISO5升级到ISO4,需要改造整个镀膜车间的空调系统和过滤系统。投入:改造设计费丶设备采购丶施工丶验证,总计一千八百万。改造周期六周,期间产线需要停产两周。」
    张京京把三个数字写在白板上:一千二百六十万丶一千二百万丶一千八百万。总和四千二百六十万。
    「这是设备改造的投入。不包括工艺验证丶人员培训丶测试损耗这些隐性成本。全部算上的话,总投入大概在五千五百万到六千万之间。」
    财务总监方远在笔记本上快速算了一笔帐。他抬起头,声音很平静:「五千五百万到六千万,相当于追光三期量产线三个月的利润。如果改良后良率从百分之九十一提升到百分之九十五,每年可以节约的材料和返工成本大概两千四百万。
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