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备支持。”
“只要我们能在这两方面结合得更紧密,就有机会跑在前面。”
会议的最后,杨宁远走到桌前,双手撑在桌面上,目光扫过每一位团队成员。
声音低沉却充满力量:“高k和金属互连的突破,关系到星联的10nm技术能否如期实现。这不仅仅是我们的目标,更是整个半导体行业的未来。”
他停顿了一下,嘴角微微上扬:“我知道,这条路不好走,但好走的路,从来不是科技创新的道路。星联团队的信念,是突破一切不可能。大家,准备好了吗?”
“准备好了!”全场的声音整齐划一,充满力量。
杨宁远满意地点点头,语气轻松了些:“很好,那就回去准备吧。材料团队继续完善高k介电材料的实验,互连团队抓紧铜扩散问题的模拟测试。”
“下周一,拿出新的方案和实验数据给我。”
散会后,会议室里的人迅速散开,带着各自的任务离开。
杨宁远站在窗边,看着城市的灯火辉煌,眼神中透出一丝期待和斗志。
“10nm的未来,就掌握在我们的手中。”
星联材料实验室。
午夜的实验室灯火通明,工程师们各司其职,忙得不亦乐乎。
设备发出低沉的轰鸣声,实验台上的高k介电材料样品,被整齐地摆放在显微镜下,周围是各种测量仪器的探针和线缆。
杨宁远站在显微镜旁,眉头微微皱起。他面前的屏幕上显示着最新实验数据,右下角的一组波形图,让他的嘴角抿成了一条线。
“小王,”他突然出声,“这次的介电常数是多少?”
年轻的工程师小王连忙拿起报告,声音略显紧张:“杨总,介电常数是29,比上一版提升了5%。”
“嗯,比以前好。”杨宁远点了点头,随即又加了一句,“但远远不够。目标是35,这点提升只能算是进步,但还不足以让晶体管真正跨过瓶颈。”
他转过头,目光落在团队另一侧正在忙碌的测试组上:“铜互连的阻挡层实验怎么样了?”
实验台旁的工程师老赵,满脸焦躁:“不行啊杨总!铜离子的扩散还是太严重了,刚才的测试样品里,铜已经‘爬’到低k材料那边去了。”
杨宁远拍了拍额头,感觉有些头痛:“铜的扩散问题,已经是老生常谈了。如果这次我们还不能解决,那金属互连就是摆设。”
“要不换材料?”小王小心翼翼地问。
“换?”杨宁远反问,语气带着点调侃,“换什么?换黄金吗?我们是搞材料研发的,不是开金矿的。”
小王低下头,不敢再说话,周围人却忍不住笑了起来,实验室里的紧张气氛稍稍缓解了一些。
就在这时,坐在测试台旁的老李突然拍了一下桌子,大喊一声:“有了!杨总,我想到了一个改进方案!”
杨宁远快步走过去,盯着老李手里的实验记录,问道:“什么方案?”
老李激动地指着屏幕上的数据说:“咱们一直在试图改进铜的阻挡层,用了钽氮、钛氮,但效果始终不理想。”
“要不试试复合阻挡层?将钽氮和钛氮叠加使用,形成多层结构,增加扩散路径,同时提升稳定性。”
杨宁远的眼睛亮了:“多层阻挡?理论上可行!但叠加工艺复杂,生产线会不会吃不消?”
老李抓了抓脑袋:“这个确实是个问题,不过我们可以先在实验室验证一下多层阻挡的效果。如果成功,再考虑量产的可行性。”
杨宁远点点头:“好,马上试!需要什么设备支持,直接报给我。”
测试小组的气氛一下子活跃了起来,老李带着几名工程师迅速开始实验调整。
另一边,杨宁远则重新回到高k材料的开发小组。
“杨总,这次的氧化铪样品表现不够稳定。”负责高k材料开发的工程师张工一脸无奈地说,“热稳定性测试中,材料在高温环境下发生了晶格畸变。”
“有多严重?”杨宁远沉声问。
张工叹了口气:“电容值直接掉了15%,性能几乎报废。”
杨宁远揉了揉太阳穴,眼神透出一丝思索。
他沉默了一会儿,忽然说道:“既然单一材料有局限性,那我们试试复合高k材料怎么样?在氧化铪基础上,掺入一部分氧化铝,调整它的晶格结构,可能会提高热稳定性。”
“复合材料?”张工犹豫了一下,“这会不会影响介电常数?”
“影响肯定有,但稳定性更重要。介电常数稍微低一点没关系,只要材料足够稳定,我们可以用工艺优化来弥补性能差距。”杨宁远语气坚定,“立刻开始准备实验。”
团队迅速行动起来,新的材料配比被送入设备进行制备,而测试台上的样品开始了新的性能测试。
一天后,测试结果终于