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表现来看,复合高k材料的稳定性和可靠性,远远超出了预期。”老赵率先开口,“尤其是在高温和高压条件下,材料依旧保持了极佳的电容性能。”
“的确,这个结果很有说服力。”张工接过话,“不过,高压测试的电容下降问题,需要进一步研究,是不是因为材料内部的某些晶格缺陷导致的。”
杨宁远点点头:“你们的分析有道理。接下来,我们要针对这些问题,展开更细致的实验,确保量产时不会出现类似的问题。”
他顿了顿,转头看向另一边负责铜互连测试的团队:“铜互连那边怎么样了?阻挡层的多层结构表现如何?”
负责铜互连测试的工程师站起来,带着些许激动汇报:“杨总,多层阻挡结构在高温和高频条件下的表现非常稳定。铜的扩散几乎完全被抑制,信号传输效率比铝互连提高了15%!”
“好消息!”杨宁远拍了拍桌子,脸上露出满意的笑容,“这样的话,铜互连的生产适配问题,也可以开始准备了。”
会议结束后,杨宁远单独留下了几个核心成员,讨论如何将测试成果,转化为实际的生产能力。
“目前的结果已经证明,复合高k材料和多层阻挡铜互连技术是可行的。”杨宁远语气中透着一股兴奋。
“但实验室的成功,并不代表生产线上能百分之百复制。接下来,我们要做的就是把实验成果,转化为大规模生产的能力。”
“杨总,量产的最大难题是什么?”小徐好奇地问。
“两个字:良率。”杨宁远伸出两根手指,“实验室里的成功样品,只是少量手工制备的结果。而生产线上的每一个工艺环节,都可能引入瑕疵,导致良率下降。”
他看向负责生产工艺的工程师,认真说道:“接下来,你们要与生产团队密切配合,优化每一个细节,确保量产时的稳定性。”
“明白!”所有人异口同声。
夜晚的实验室恢复了宁静,杨宁远站在窗前,看着城市的灯火。
刚才的一幕幕仿佛电影般在他脑海中回放。
“高k材料与铜互连的结合,这不仅仅是10nm的关键技术,更是星联未来的命脉。”他轻声自语,嘴角浮现一丝微笑。
“我们已经迈出了关键一步,接下来,就看如何把它推向整个行业了。”
窗外,城市的灯光依然闪烁,像是在为这场科技的攻坚战呐喊助威。
杨宁远的目光变得更加坚定,他知道,真正的挑战才刚刚开始。
星联大厦,跨部门协作会议室。
早晨八点,星联集团的高层们准时齐聚会议室,会议的主题只有一个:如何将复合高k材料和铜互连技术,从实验室成果转化为大规模量产的能力。
李凡走进会议室,目光如炬,环视一圈。
他并没有急着开场,而是走到窗前,背对着众人,双手插在西装口袋里,似乎在思考什么。
几秒钟后,他转过身,露出一个浅浅的微笑:“各位,恭喜大家,我们又取得了一项重要的技术突破。但你们知道吗,突破并不是终点,而是起点。”
“今天,我要听的是你们的解决方案——从研发到生产,如何无缝对接。宁远,你先说吧。”
杨宁远点点头,站起来,带着一份厚厚的资料走到投影屏前:“李总,接下来的工作重点有两个:第一,将复合高k材料和铜互连技术的生产工艺标准化;第二,解决现有生产线与新技术之间的适配问题。”
他顿了顿,随即将屏幕上的一张图表指了出来:“这是目前复合高k材料的工艺流程图,可以看到,从材料制备到涂覆,每一步都要求极高的精准度。”
“尤其是复合高k材料的沉积工艺,如果参数稍有偏差,良率会大幅下降。”
会议室里一片安静,所有人都认真听着。
杨宁远话音刚落,汪怀君插话道:“宁远,你的材料确实漂亮,但我们的生产线可没这么娇贵。你这要求的涂覆厚度精度在1纳米以内,稍微有点良率波动,成本就上天了。”
他咧嘴一笑,语气中带着几分调侃:“别忘了,实验室和生产线,可是两码事。”
杨宁远嘴角微微抽了一下,但很快压下情绪,笑道:“汪总,你别着急拆台啊。我知道量产不容易,但正是因为我们研发部门‘娇贵’,才让你们的生产线有了超越竞争对手的可能,不是吗?”
李凡听着两人的一来一回,忍不住笑了一声:“好,好,不要斗嘴。宁远,生产线的问题确实是关键。有没有更现实一点的解决方案?”
杨宁远点点头:“当然有。我们计划和半导体部门联合成立一个专项工作组,生产线工程师直接参与材料优化,共同调整制备工艺。比如在沉积环节,我们可以适当降低参数精度,换取更高的良率。”
汪怀君一拍桌子:“这还差不多!不过