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头领导汇报工作了。”
张红卫点头说道:“试生产的准备工作基本上已经就绪。这台设备到底表现怎么样,是骡子是马也该拉出来溜溜了。”
“那咱们现在就进行第一次试生产看看效果吧。”
为了准备这次试生产,其实已经准备了很久。
芯片生产的周期还是比较长的。
从芯片设计到晶圆制备,都需要时间。
真正准备完毕后,投入生产,速度就比较快了。
张成功说:“咱们这些闲杂人等在生产车间里待着,也比较碍事吧?要不要先出去等?”
张红卫微笑说道:“没关系,并不是太妨碍。”
“因为,芯片光刻的过程是全自动化的。”
“它并不需要工作人员太忙碌。”
张成功对宋立功说:“老宋,那咱们就站在一旁角落观摩吧,也别太往前凑,省得碍手碍脚的。”
宋立功点头说道:“好!”
张红卫就开始跟几名工作人员忙碌起来。
机器启动,已经制备好的光刻掩膜板被放置好。
晶圆基材也被放到了封闭工作台里。
随后,就开启了光刻的进程。
深紫外光源预热开启,随后就开始按照既定的程序工作。
只见紫光闪烁,工作台在嗡嗡鸣响。
宋立功和张成功两人都是外行,也看不出什么门道,他们就觉得生产的过程显得很科幻。
他们甚至想不通,那光难道真的能像刻刀一般在芯片基材上刻画出电路来吗?
其实也就持续了大概一二十秒的样子,然后一个晶圆就被光刻完毕。
这可比原本的国产光刻机功能强大了太多太多。
两个工作台同时工作,两个300毫米的晶圆在很短时间内完工。
“什么?这就完成光刻了?”宋立功很吃惊。
宋立功见识过清华那台自动光刻机的工作效率,跟这个简直没法比。
张红卫微笑点头说道:“光刻程序已经结束。”
“待会儿给领导们看看光刻的情况。”
不一时,光刻过的晶圆就被托举出来。
张红卫招呼领导们走近来看。
宋立功一看,晶圆的表明留下了带有微小图形结构的薄膜。
这些图形非常的精细清晰一目了然。
张成功问:“芯片这就造好了?”
张红卫笑着摇头说道:“不,不!还差得远!”
“后面还要进行蚀刻,然后就是离子注入,这是为了改变材料的电导性,在芯片中形成不同的导电类型区域,如P型和N型区域……”
张红卫把芯片制造的步骤逐个儿的讲了讲。
张成功说:“那是不现在就可以开始其他加工步骤了啊?”
张红卫笑着摇头:“不,不!后面还要进行处理,您要是有时间,可以现场继续见证到芯片的最后生产工序,不过,时间可能会比较长,需要好几天的生产周期。”
张成功摇了摇头说:“那还是算了吧,我事情还是比较多的。”
“今天就是过来看看怎么个情况。”
“红卫呀,你这等于是光刻已经成功了,对吗?”
张红卫点点头,他知道对方是门外汉,只看光刻机光刻过之后的晶圆,估计他没什么概念,也看不出什么效果。
芯片的效果还在于制造出来之后,给其他电子产品赋能。
“您看这晶圆上的电路图形,非常清晰一目了然没有半点污迹和毁损,这就算光刻获得了极大的成功。”
“这次光刻成功的比率已经达到了百分之百。”
“领导可以先去忙军国大事,等芯片造出来之后,我让您看看成品。”
张成功先走,宋立功留了下来。
毕竟,张红卫这个课题项目算是在他负责主管之下。
“红卫同志,咱们这个光刻机的光刻精度制程大概是多少?能达到脚盆芯片制程的水准吗?”
宋立功问道。
脚盆目前的芯片制程已经可以达到1微米,接近突破到纳米制程。
而正是芯片突破到1微米级别,才推动了消费电子产品的快速发展。
像脚盆的随身听、电子表、电视机、电冰箱、洗衣机风靡全球,都跟他芯片发展水平全球领先有关。
犹撒后来阉割了脚盆的芯片产业,才让脚盆的电子产业出现了大幅度的萎靡下滑。
以计算机为例,其实脚盆在80年代甚至到了90年代,它的微型计算机产业都发展得相当不错,甚至东芝在1985年就推出了第一台笔记本电脑。
可犹撒一通狂暴打击之后,脚盆的微型计算机产业基本上就被干掉了。
张红卫笑道:“宋部,咱们这个光刻机的光源深紫外激光的波长范围可是在193纳米到248纳米之间啊!”